五相混合步进电机步距角一般为0.72°，0.36°。还有一些高性能的步进电机，通过细分后步距角较小。如山阳公司（SANYODENKI生产的二相混合步进电机的步距角可通过拨码开关设置为1.8°，0.9°，0.72°，0.36°，0.18°，0.09°，0.072°，0.036°，双相混合步进电机的步距角一般为1.8°，0.9°。两相和五相混合步进电机的步距角。

对于带有标准2000线编码器的伺服电机配套减速机，电机轴后端的旋转编码器保证了交流伺服电机的控制精度。以山阳全数字交流伺服电机为例。由于驱动器采用四倍频技术，其脉冲等级为360°/8000=0.045°。对于带有17位编码器的电机，驱动器每接收131072个脉冲电机旋转一次，即其脉冲等效为360°/131072=0.0027466°，步距角为1.8°1/655步进电机脉冲当量

一般认为振动频率是伺服电机配套减速机空载起跳频率的一半。这种低频振动现象是由步进电机的工作原理决定的，非常有利于机器的正常运行。当步进电机低速工作时，步进电机在低速时容易发生低频振动。振动频率与负载条件和驱动器性能有关。一般来说，应采用阻尼技术来克服低频振动现象，如电机上的阻尼器或驱动器上的细分技术。

即使在伺服电机配套减速机低速时也没有振动。交流伺服系统具有共振抑制功能，交流伺服电机运行非常稳定。它可以覆盖缺乏机械刚度，并且系统具有频率分析功能（FFT可以检测到机械的共振点，便于系统调整。