行星减速步进电机具有重量轻、体积小、传动比大、效率高、运行稳定、噪音适应性低等特点。减速器广泛应用于冶金、矿山、起重运输、电力、能源、建材、轻工、交通等工业部门。

行星减速步进电机对硬齿表面齿轮有许多热处理方法，如表面淬火、整体淬火、碳化淬火、氮化等，应根据行星齿轮减速器的特点进行选择。

1.表面淬火

常用的表面淬火方法有两种:高频淬火(对小齿轮)和火焰淬火(对大齿轮)。表面淬火的淬火层包括齿根底部，效果良好。表面淬火常用材料的质量分数约为0.35%~0.钢材5%，行星减速机齿面硬度可达45%~55HRC。

2.渗碳淬火

渗碳淬火齿轮具有较大的承载能力，但需要采用精加工(磨齿)来消除热处理变形，以保证精度。

行星减速步进电机渗碳淬火齿轮常用渗碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度通常为58~62HRC如果低于577。HRC牙面强度明显下降，高于62HRC脆性随时增加。轮齿心脏的硬度一般为310~330HBW这是合适的。从轮齿表面到深层应逐渐降低渗碳淬火齿轮的硬度，而有效渗碳深度规定表面到深层应逐渐降低，有效渗碳深度规定表面到硬度52.5HRC处的深度。

3.渗氮

渗氮的使用可以确保齿在小变形条件下实现高齿硬度和耐磨性，热处理后不能再进行加工，提高承载能力。这对不易磨齿的内齿轮具有特殊的意义。